等離子體表面處理儀可用于消除固體表面的有機污染物,如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時也可以對樣品表面進行處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。
主要特點:
(1)采用電容耦合電極設計(USPatent.4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511),低失真、高效率的特性,保證了樣品室內等離子體分布的均一性;
(2)采用自動調頻高頻發(fā)生器,保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性;
(3)采用高精度的流速控制和壓力控制部件,保證了氣體的高重現(xiàn)性混合和分布;
(4)采用軟件控制,確??刂频姆奖阌行Ш蛯崟r監(jiān)控;
(5)一體化的高真空系統(tǒng),確保了操作的方便性和穩(wěn)定性;
(6)多種樣品室可供選擇,如耐熱玻璃和石英等,更能滿足廣大客戶的需求多;
(7)體積小,可遠程操作,多種安全保護,保證操作的安全和方便;
(8)樣品室和功率設計合理,可滿足絕大部分科研需要;
(9)全自動操作,方便可靠。